近年来真空泵运用的发展壮大，真空泵的种类现已发展壮大了好多，其泵效从每秒钟0：升到每秒钟十余万和上百万升。近年来真空设备在制造和科研各个领域中对其运用压力强度区域的标准愈来愈宽，大部分要由几个真空泵组合成真空吸气体系一起吸气后才能够达到制造和科研流程的标准，基于真空运用相关部门所涵盖的工作的压力的区域很宽，故此其他1种类别的真空泵都难以根本应用于任何的工作的压力区域，也只能按照不一样的工作的压力区域和不一样的工作标准，运用不一样类别的真空泵。
结构特点
在较宽的压力范围内，有较大的抽速;转子具有良好的几何对称性，因此振动很小，运行平稳。转子之间和转子之间都有间隙。无需润滑，摩擦损失小，可以大大降低驱动功率，从而实现更高的转速;泵腔不需要油密封和润滑，可以减少油蒸气对真空系统的污染;泵腔没有压缩，也没有排气阀。结构简单紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感。压缩相对较低，对氢气抽气效果较差;转子表面是形状更复杂的曲线柱面，加工和检查相对困难。
机械选择：
真空泵工作时产生的振动对工艺过程和环境有影响，如果工艺过程不允许，应选择无振动的泵或采取防振动措施。
了解抽气体的成分，气体中不含可凝气，颗粒灰尘或腐蚀性等，选择真空泵时，需要知道气体成分，并选择相应的泵进行抽气体。气体中含有蒸气，颗粒和腐蚀性气体，应考虑在泵进气口管中安装辅助设备，例如冷凝器，除尘等。
真空泵在工作压力下，应能够在真空设备工艺过程中排出所有气体，以产生恒定的气体量。
正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性抽气，因此有时选择泵不能满足抽气要求。有几种泵可以组合并相互补充以满足抽气要求。例如，钛升华泵具有很高的氢抽速，但不能抽氦，而三极溅射离子泵具有一定的抽速，并且两者的组合会使真空装置获得更好的真空度。此外，有些真空泵不能在大气中工作，并且需要预真空。有些真空泵出口的压力低于大气压，需要前级泵，因此需要将泵组合使用。
真空设备对油污染的要求，如果设备严格要求无油，应选择各种无油泵，例如：水环泵，分子筛吸附泵，溅射离子泵，低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，并添加一些防油污染措施，例如冷阱，障口，挡油陷阱等，也可以达到清洁真空的要求。
