因为低温冷凝泵具有无油， 对一切气体的抽速都较大， 特别是对水蒸汽、H2 等抽速很大， 适应性强， 制冷机低速运转， 且运动部件很少， 有利于长时间可靠运转等长处， 因而， 被广泛应用于IC生产工艺中的蒸腾、溅射、离子注入、分子束外延以及其它比如高能粒子加速器、受控热核反应、电真空器材、资料科学、外表分析仪器等领域， 以此来获得清洁的高真空或超高真空。
现以冷凝泵为例， 扼要论述冷凝泵的内部结构特点、作业原理以及维护保养方面的关键。冷凝泵的内部结构资料： 无氧铜； 温度： 80K （一级冷头温度）。结构： 人字纹形， 百叶窗形。首要用来凝缩扫除水蒸气（H2O ）、有机物（CO2） 等的气体分子 并用来避免热辐射直接进入辐射罩。
通常， 在80K温度下， 入射水分子的温度即使在室温 凝缩系数也接近于。因而，水分子简直悉数被凝缩， 所以，冷凝泵对水的扫除是理想的。资料： 无氧铜； 温度： 80K.辐射罩包裹着冷头，是为了阻挠外来的热辐射。外侧为了反射热辐射，施行了反射率很高的镍喷涂； 内侧为了阻挠热辐射反射到冷板， 施行了能吸收辐射能的黑化处理涂层。
资料： 无氧铜； 温度： 15K（二级冷头温度） ; 结构： 9片柱形， 5片锥形。冷板从功能上分为外外表冷凝扫除气体部分和内外表活性炭吸附扫除气体部分。O2、N2、Ar等凝缩性气体分子的绝大部分被挡在冷板外外表， 并在其外表凝缩， 而到达其内外表活性炭的气体分子则极少。H2分子在冷板外外表不被凝缩而被反射， 从而， 被位与其内外表的活性炭所吸附。
